【半導体】先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 OIST

1: すらいむ ★ 2024/08/13(火) 23:11:08.87 ID:BLSDY3gA
先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 沖縄科技大 　人工知能（AI）など大量の情報処理が求められる先端半導体の製造に欠かせない「EUVリソグラフィー（極端紫外線露光装置）」の大幅な省エネやコスト削...