【半導体】OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案

1: すらいむ ★ 2024/07/30(火) 23:09:26.08 ID:DtYEaBbz
OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案 　沖縄科学技術大学院大学(OIST)は7月29日、小型のEUV光源でも動作し、消費電力が従来の10分の1以下にまで減らせる、これまでの先端半導体...